Türkiye’de teşvik uygulamaları tarihine baktığımızda ilk olarak 1913’te sanayi alanında bazı atılımlar yapmak üzere “Teşvik-i Sanayi Kanunu Muvakkatı” adıyla bir yasa çıkarılmış, özel sektörü sınai faaliyet alanına çekmek için sübvansiyon niteliğinde birçok tedbir getirilmiştir. Meşrutiyet döneminin sanayi politikası ve bu politikanın gerektirdiği tedbirler memleket sanayisini 10 yıl içinde 2 misline çıkarmış, fakat ülkenin içinde bulunduğu durum ve girilen savaşlar neticesinde beklenen etki sağlanamamıştır. .
Cumhuriyet döneminde ise İzmir İktisat Kongresi'nde alınan kararlarla, 1924 yılında, sanayi ile ilgili eski yasaları günün şartlarına uydurarak değiştirme çalışmalarına girişilmiştir. 1927 yılında yeni bir “Teşvik-i Sanayi Kanunu” hazırlanmıştır. Kanunun yürürlük süresi 15 yıl ile sınırlandırılmış, 1942'ye kadar uygulanmıştır. Yeni teşebbüsler ilk 5 yılda 342 adetten 1.473 adede çıkmış, sanayi işçi sayısı 17.000'den 62.000'e çıkmıştır. Bu sistemin uygulanmasını ise 1929-1933 yılları arasında dünya çapında etkili olan “büyük buhran” engellemiştir. Ayrıca yasanın çıktığı dönemde özel girişimcilerin elinde yeterli sermaye bulunmadığı gibi mali ve teknik bilgi yetersizliği ve uluslararası mali işlerde deneyimsizlik yasadan yeterince yararlanılamamasına neden olmuştur.
1948 yılında “Bina Yapımını Teşvik Kanunu”, 1950 yılında “Turizm Müesseselerini Teşvik Kanunu”, 1951 yılında “Yabancı Sermaye Yatırımlarını Teşvik Kanunu” ve 1954 yılında “Yabancı Sermayeyi Teşvik Kanunu” çıkarılarak farklı alanlarda teşvikler uygulanmıştır.
1963 yılında başlayan planlama döneminde de yeni teşvikler uygulanmıştır. Aynı yıl yatırım indirimi yürürlüğe girmiş, ayrıca ihracatı artırmak için bazı kanunlar uygulamaya başlanmıştır. İhracatta ilk vergi iadesi 1964 yılında verilmeye başlanmıştır. 1967 yılında ise yatırımları ve ihracatı artırmak için 933 sayılı Kanun çıkarılarak yatırım indirimi oranı bölgesel ve sektörel bazda artırılmış, gümrük vergisi muafiyeti, ihracatta vergi iadesi ile sanayi bölgesi kurulması için arazi istimlâk uygulaması getirilmiştir.
1968’de 22 ilin Kalkınmada Öncelikli Yöre (KÖY) ilan edilmesiyle birlikte Kalkınmada Öncelikli Yöreler uygulamasına geçilmiştir. Zamanla bu illerin sayısı artmış, son olarak 2005 yılında bu sayı 49 il ve 2 ilçe olarak belirlenmiştir.

Öte yandan, 1.11.1969 tarih ve 6/12585 sayılı Kararname ile teşvik işlemleri için "Teşvik Belgesi" uygulamasına geçilmiştir. 1980 yılına kadar “ithal ikamesine dayalı sanayileşme stratejisi” benimsenirken, bu yıldan sonra para, kredi ve döviz politikaları ile ithalat mevzuatında köklü değişikliklere gidilerek; yerine “ihracata dönük sanayileşme stratejisi” benimsenmiştir. 1980’li yıllarda uygulanan yatırım teşviklerinde öncelikli sektör uygulamasına geçilmiş ve her yıl yayınlanan kararnameler çerçevesinde teşvik edilecek yatırım konuları belirlenmiştir. 1980’lerin ikinci yarısı ve 1990’ların ilk yarısında, teşviklerin bölge ve sektör bazında ayrıcalık uygulamasına devam edilmiş, OSB’ler ise ayrıcalıklı uygulamalarla desteklenmiştir.
2000’li yıllardan itibaren ise ülkemizde yaşanan ekonomik gelişmelerle birlikte; 2002/4367 sayılı kararla özel önem taşıyan sektör yatırımı, 2006/10921 sayılı kararla KOBİ teşvik belgesi ve 2009/15199 sayılı kararla da bölgesel ve büyük ölçekli yatırım teşvik belgeleri verilerek yeni teşvik uygulamaları da devreye girmiştir. Son olarak yürürlükte olana 2012/3305 sayılı karar ile 2009 yılındaki yapılan bölge bazlı düzenlemede esas alınan Düzey 2 bölgeleri yerine il bazında düzenlemeye gidilerek 4 bölgeden 6 bölgeli bir sisteme geçilmiştir. Ayrıca, öncelikli yatırımlar, OSB’deki yatırımlar için bir alt bölge desteği, stratejik yatırımlar, proje bazlı yatırımlar ve teknoloji odaklı sanayi hamlesi, ilçe bazlı teşvikler gibi yeni uygulamalar da teşvik sistemine eklenmiştir. Yatırım Teşvik Sistemi 2012 yılından günümüze kadar ihtiyaç olan alanlarda yapılan revizelerle son halini almıştır.